2021/10/14
真空镀膜机镀玻璃工件,工件内部出现膜内白雾,是什么原因造成的。对于一个专业的真空镀膜技术工程师来说,白雾形成在膜内,他们是能快速采用排除方面,寻找到原因的,因此,专业能力技术强,还是非常有优势的。那么膜内白雾到底有哪些原因形成的呢?
1、基片脏,附着前工程的残留物;
2、镜片表面腐蚀污染;
3、膜料与膜料之间、膜料与基片之间的不匹配;
4、氧化物充氧不够;
5、第一层氧化锆膜料,可能对某些基片产生白晕现象;
6、基片进罩前(洗净后)受潮气污染;
7、洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹;
8、真空室脏、水气过重;
9、环境湿度大。
真空镀膜机镀工件玻璃出现膜内白雾,改善思路:基片本身的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本身最大的可能是膜料匹配问题。
改善对策:
1、改进膜系,第一层不用氧化锆;
2、尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作;
3、真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净;
4、改善环境;
5、妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染;
6、改善洗净、擦拭效果;
7、改善膜匹配(考虑第一层用Al2O3);
8、改善膜充氧和蒸发速率(降低);
9、加快前工程的流程,前工程对已加工光面的保护加强;
10、抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂质附着干结。
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