设备简介

DLC类金刚石涂层设备是我公司自主研发生产的专门用于沉积高性能DLC类金刚石膜层设备，可选用磁控溅射、离子源、灯丝、偏压等多种镀膜技术，结合智能挡板和可移动式工件转架，可快速沉积硬度高、低摩擦系数的类金刚石（a-C:H）涂层。广泛应用于航空航天、汽车工业、切削刀具、模具及有低摩擦系数要求的零部件。

设备特点

• 高能量等离子体清洗，提高涂层结合力       
• 电磁场交互作用离化气体
• 磁控溅射靶材利用率高
• 涂层光滑，不存在大颗粒污染
• 制备含氢DLC涂层
• 工艺程序高度重复运行
• 稳定的控制系统，使操作更轻松
• 远程智能操控和诊断功能

设备参数

涂层参数