设备简介

MSCL型连续PVD镀膜生产线采用成熟的模块化结构，进料室、离子清洗加热室、涂层工艺室、出料室合理布局。磁控溅射、阴极电弧、离子源、偏压等不同等离子体技术灵活应用。主要应用于陶瓷线路板金属化、滤波器金属化、硬质涂层、新能源电池双极板PVD、工具零部件或装饰镀产品涂层的生产，可满足大批量生产的需求。

设备特点

• 腔室设计模块化，易实现产能拓展
• 多种镀膜技术选配，满足不同涂层需求
• 工件转架自带辅助加热功能
• 单位运行成本低，竞争力强
• 设备性能可靠稳定，故障排除迅速
• 全自动化运行，远程控制

设备参数

• 腔体尺寸：850x560x1250 mm
• 镀膜区域： ∅450xH840 mm
• 最大载荷重量：200Kg