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2022/03/02
溅射不适用于低硬度材料,如非金属材料。
溅射不适用于非导电材料。
蒸镀不能控制厚度,而溅射可以用时间控制厚度。
蒸镀不适应大规模的生产。
蒸镀的电子动能比溅射小很多,虽然含气量少,但是膜层易脱落。
溅射的膜均匀,蒸镀的膜中心点厚,四周薄。
在国内蒸镀工艺比溅射工艺成熟。
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